德國(guó)PI(Physik Instrumente)定位器價(jià)格

P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

·         X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米

·         電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米

·         帶直接驅(qū)動(dòng)器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài)

·         導(dǎo)向誤差主動(dòng)補(bǔ)償?shù)牟⑿杏?jì)量

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

·         50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用

訂購(gòu)信息：

P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，電容傳感器，平行計(jì)量，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

德國(guó)PI(Physik Instrumente)定位器價(jià)格

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測(cè)量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)擊和振動(dòng)不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

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