P-611.3 NanoCubeXYZ壓電陶瓷系統(tǒng)

用于納米級定位和光纖校準(zhǔn)的緊湊型多軸壓電系統(tǒng)

·         行程達(dá)120 微米×120 微米×120 微米

·         超緊湊型：44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米

·         分辨率達(dá)0.2納米

·         快速響應(yīng)行為

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

·         PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

·         用于快速掃描

·         帶集成式光纖夾持器的版本

·         極其經(jīng)濟(jì)實惠的系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

·         光子學(xué)/集成光學(xué)

·         顯微操縱

·         生物技術(shù)

·         半導(dǎo)體測試

·         光纖定位

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運(yùn)行1000億個循環(huán)。

應(yīng)用領(lǐng)域

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操縱

生物技術(shù)

半導(dǎo)體測試

光纖定位

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運(yùn)行1000億個循環(huán)。

規(guī)格

         P-611.3S P-611.3SF       P-611.3O P-611.3OF    單位     公差

主動軸      X、Y、Z                    X、Y、Z

運(yùn)動和定位

集成傳感器 應(yīng)變片傳感器

-20至120 伏時的開環(huán)行程   120/軸    120/軸  微米   +20 % / -0 %

重復(fù)精度

X、Y向上的螺距   ±5                  ±5            微弧度    典型值

θX向上的傾斜（Z向運(yùn)動）    ±10      ±10            微弧度    典型值

X向上的偏轉(zhuǎn)角         ±20           ±20            微弧度    典型值

Y向上的偏轉(zhuǎn)角         ±10           ±10            微弧度   典型值

θY向上的傾斜（Z向運(yùn)動） ±10         ±10           微弧度    典型值

機(jī)械特性

剛度           0.3      0.3 牛/微米 ±20 %

X / Y / Z向上的空載諧振頻率 350 / 220 / 250      350 / 220 / 250   赫茲  ±20 %

帶30克負(fù)載時X/Y/Z向上的諧振頻率 270 / 185 / 230    270 / 185 / 230 赫茲 ±20 %

帶100克負(fù)載時X/Y/Z向上的諧振頻率 180 / 135 / 200   180 / 135 / 200 赫茲 ±20 %

運(yùn)動方向上的推/拉力 15 / 10     15 / 10 牛 大

負(fù)載容量   15    15 牛 大

驅(qū)動特性

陶瓷類型 PICMAP-885 PICMAP-885

電容 1.5   1.5 微法 ±20 %

其他 工作溫度范圍 -20 到 80    -20 到 80 °C  

材料    鋁、鋼     鋁、鋼

尺寸 S版本： 48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米

SF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米

O版本： 44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米

OF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米

質(zhì)量 0.32 0.32 千克 ±5 %

電纜長度 1.5 1.5 米 ±10 毫米

電壓連接 Sub-D25針（公頭） Sub-D25針（公頭）

傳感器連接 Sub-D25針（公頭） –

推薦電控 E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727 E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727

訂購信息

P-611.3S NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器 P-611.3O NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，不帶傳感器 P-611.3SF NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器，集成式光纖夾持器

P-611.3OF NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，不帶傳感器，集成式光纖夾持器

P-611.3 NanoCubeXYZ壓電陶瓷系統(tǒng)